直线旋转执行器也叫“ZR执行器”，是一种高度集成的二维运动模组，内置编码器、内置真空管路、内置导轨等。 ZR=Z轴音圈电机+ R轴旋转伺服，通过巧妙结构设计，两个运动部件融入厚度仅20mm的空间。音圈电机负责Z向运动，伺服电机负责旋转运动， 两种运动叠加，使得电机轴既能够上下运动，同时360度无死角旋转。 ZR模组支持3种运动控制模式和“软着陆”功能，赋予了她灵魂和智慧，能够独立完成升降、旋转角度校位、芯片吸取、芯片贴装、 轻取轻放等一系列复杂动作和贴装工艺，成为半导体芯片贴装设备的核心部件。

内置玻璃光栅、光学编码器

• 玻璃光栅栅距 Pitch = 20um，磁栅栅距 Pitch = 1000um 玻璃光栅物理精度 是磁栅的 50倍 

• 玻璃光栅，物理性能稳定，且不受强磁场干扰 

• 分辨率可选配 ： 1um、5um、0.5um 

• 光栅精度高， 满足高精密半导体贴装设备的需求

软着陆、 精准力控

• 以高速度、低力量的方式接触物体表面，有效保护易损易碎物品， 最小软触力 20g 

• 力控范围 ：20g—300g

内置弹簧、内置真空

• Z轴内置优质弹簧 即使突遇断电，弹簧能安全保护，避免运动部分下砸风险 

• 内置真空管路 中空电机轴、真空管路、气管接头形成一条真空通道，接上吸嘴， 即可牢靠吸取芯片

轻薄小巧

• ELR2015 尺寸： 高 130mm X 宽 80mm X 厚 20mm  ELR2015 尺寸： 高 155mm X 宽 80mm X 厚 20mm

• 体积小，占用空间小，满足狭小的空间安装 

• 重量轻巧，有助提高 XY直线平台的加速度

• 支持多模组零间距阵列安装，磁场互不影响其运动

高精度、高可靠性

• Z轴 重复定位精度： ±2um

• R轴 旋转分辨率：16384 CPR