驱动及机械特性

S0610

S0630

S0650

S0810

S0830

S0850

主动轴

X

X

X

X

X

X

有效行程（mm)

10

30

50

10

30

50

直线度(μm）

3

3

3

3

3

3

最大速度（mm/s）

50

200

300

50

200

300

最大加速度（m/s2）

5

5

5

10

10

10

Z向负载能力（N）

10

10

10

20

20

20

移动质量（kg）

0.3

0.35

0.4

0.3

0.35

0.4

总质量（kg）

0.7

0.8

0.9

0.9

1.05

1.2

额定推力（N）

2.3

4.9

峰值推力（N）

9

20

额定电流（Arms）

0.9

1.7

峰值电流（Arms）

3.5

6.7

推力定数（N/Arms）

2.6

2.9

逆起电力定数（Vrms/m/s）

1

1

相间电阻（Ω）

3.6

2.3

相间电感（mH）

0.2

0.3

磁极间距（mm）

24

30

导向类型

带防蠕动系统的交叉滚柱导轨

带防蠕动系统的交叉滚柱导轨

编码器选配件

S06XX-1

S06XX-2

S06xx-B

S08xx-1

S08XX-2

S08xx-B

编码器反馈类型

增量线性编码器

增量线性编码器

绝对编码器

増量线性编码器

増量线性编码器

绝对编玛器

传感器信号

正弦/余弦

差分AB相

BiSS-C

正弦/余弦

差分AB相

BiSS-C

传感器分辨率（nm）

1.2

50

1

1.2

50

1

最小位移量（nm）

10

100

10

10

100

10

双向重复精度（μm）

±0.1

±0.2

±0.1

±0.1

±0.2

±0.1

定位精度（补偿后）（μm）

0.2

0.2

0.2

0.2

0.2

0.2

霍尔传感器选配件

S06xx-x-HA

S08xx-x-HA

主体材料

铝，阳极氧化黑

铝，阳极氧化黑

使用环境温度（℃）

10-40

10-40

电缆线长度

3米

3米